上海射频离子源批发价格

【真空镀膜机之真空泵的安装和指导】真空泵安装指导1、泵应安装在地面结实坚固的场所，周围应留有充分的余地，便于检查、维护、保养。2、泵底座下应保持地基水平，底座四角处建议垫减震橡皮或用螺栓浇制安装，确保泵运转平稳，振动小。3、泵与系统的连接管道应密封可靠，对小泵可采用金属管路连接密封垫采用耐油橡胶，对小泵可采用真空胶管连接，管道管径不得小于泵吸气口径，且要求管路短而少弯头。（焊接管路时应qing除管道中焊渣，严禁焊渣进入泵腔。）4、在连接管路中，用户可在泵进气口上方安装阀门及真空计，随时可检查泵的极限压力。5、按电动机标牌规定连接电源，并接地线和安装合适规格的熔断器及热继电器。6、泵通电试运转时，须取下电机皮带，确认泵转向符合规定方向方可投入使用，以防泵反转喷油。（转向按防护罩指示方向）7、对于有冷却水的泵，按规定接通冷却水。8、如泵口安装电磁阀时，阀与泵应同时动作。9、当泵排出气体影响工作环境时，可在排气口装接管道引离或装接油雾过滤器。射频离子源可用于制备纳米材料、薄膜、光学器件等高科技产品。上海射频离子源批发价格

【真空镀膜机之镀锌工艺】在钢铁合金材料的表面镀一层锌以起美观、防锈等作用的表面处理技术，表面的锌层是一种电化学保护层，可以防止金属腐坏，主要采用的方法是热镀锌和电镀锌。适用材料：由于镀锌工艺依赖于冶金结合技术，所以只适合钢和铁的表面处理。工艺成本：无模具费用，周期短/人力成本中等，因为工件的表面质量很da程度上取决于镀锌前的人工表面处理。环境影响：由于镀锌工艺增长了钢铁件40-100年的使用寿命，很好的防止了工件的生锈和腐坏，所以对保护坏境有积极的作用。另外，镀过锌的工件在使用寿命到期后，可以重新送返镀锌槽，对液态锌的反复利用不会产生化学或物理废料。北京射频离子源专业生产射频离子源可用于表面处理、材料改性、离子注入、等离子体刻蚀等应用。

【真空镀膜机检漏之气压检漏】气压检漏被检零部件内腔充以气体(一般为空气)，充气压力的高低视零部件的强度而定，一般为(2~4)×105帕。充压后的零部件如发出明显的嘶嘶声，音响源处就是漏孔位置。用这种方法可检较小漏率为5帕·升/秒的漏孔。如不能用声音直接察觉漏孔，则用皂液涂于零部件可疑表面处，有气泡出现处便是漏孔位置。用这种方法较小可检漏率为5×10-3帕·升/秒的漏孔。此外，还可将充气的零部件浸在清净的水槽中，气泡形成处便是漏孔位置。用水槽显示漏孔，方便可靠，并能同时全部显示出漏孔位置。如气泡小、成泡速度均匀、气泡持续时间长，则为×10-2~13帕·升/秒漏率的漏孔。如气泡da、成泡持续时间短，则为13~103帕·升/秒漏率的漏孔。

    达到修正面形误差的目的，其加工精度达到纳米级。射频(rf)离子源采用磁感应产生等离子体，因此是无极放电，放电室内钨灯丝作为阴极，钨灯丝可在反应气体中长时间工作，**降低了对离子束带来的污染。由于射频感应产生的等离子体中只有单电荷离子而几乎没有双电荷离子，因此使屏栅溅射引起的污染尤为小，同时也增加了离子束的均匀性。rf射频离子源采用特殊的三栅离子光学系统，既提高了拔出效率，又保证了结构的热稳定性及防污染的可靠性。离子源工作时，气体通过石英放电室，通过，离化气体产生等离子体。带电粒子经由静电场加速，控制离子束电压，增大放电室功率，提高放电等离子体浓度，在经过离子三栅光学系统的聚焦加速形成一定能量的离子束。现有技术中的射频离子源离子束束径是通过位于离子源内部的三级栅网设计的位置及形状进行调节的，调节时需要反复更换栅网以实现束径调节，调节效率低，同时，现有的栅网均为曲面栅网，如图1所示，从而使得加工制造较为困难，并且很难保证曲面弧度及孔径的加工精度，加工成本高。技术实现要素：鉴于上述问题，本发明的目的在于提供一种束径调节方便的射频离子源离子束束径约束器。真空镀膜机的应用领域。

【真空镀膜设备捡漏需注意】真空镀膜设备检漏是保证真空镀膜设备真空度的一项检查措施，简称检漏，真空度的高低是直接影响到镀膜效果的，所以检漏是必不可少的。一、要确认漏气到底的虚漏还是实漏。因为工件材料加热后都会在不同程度上产生气体，有可能误以为是从外部流进的气体，这就是虚漏，要排除这种情况。二、测试好真空室的气体密封性能。确保气密性能符合要求。三、检查漏孔的da小，形状、位置，漏气的速度，制备出可解决方案并实施。四、确定检测仪器的小可检漏率和检漏灵敏性，以da范围的检测出漏气情况，避免一些漏孔被忽略，提高检漏的准确性。五、把握检漏仪器的反应时间和消除时间。把时间掌握好，保证检漏仪器工作到位，时间少了，检漏效果肯定差，时间长了，浪费检漏气体和人工电费。六、还要避免漏孔堵塞。有时由于操作失误，检漏过程中，一些灰尘或液体等把漏孔堵塞了，以为在该位置没有漏孔，但当这些堵塞物由于内外压强差异提高或其他原因使漏孔不堵了，那漏气还是存在的。为真空镀膜设备做好检漏工作是很重要的，造成真空度下降的原因多种多样，我们要一一的解决这些原因，稳定镀膜的效果。真空镀膜机常见故障及解决方法。贵州离子束清洗射频离子源制造生产厂家

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【如何减少真空镀膜的灰尘】1、使用的源材料要符合必要的纯度要求。2、样品取出后放置环境要注意清洁的问题。3、镀膜一段时间后，真空室内壁必须要清洁处理。4、清洗衬底材料，必须要做到严格合乎工艺要求。5、工作人员有专门的服装，操作要戴手套、脚套等。6、适当的增加环境的湿度，有利于降低周围环境的悬浮固体颗粒物。7、技术上明确允许的较da颗粒尺寸和单位面积颗粒物的数量的上限da致是多少。8、室内空气流动性低、地面干净，如果是裸露的水泥地，需要覆盖处理。墙壁、屋顶不能使用一般的灰质涂料粉刷。上海射频离子源批发价格